로터리 캐소드
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로터리 캐소드

​        로터리 캐소드

로터리 캐소드는 캐소드가 원통형이며 기존의  평판 캐소드와 비교해 냉각효율이 우수하고 자석 주위에 큰 공간이 있어 그 위치로 자기장의 공간분포를 조정하며 플라스마 최적화가 가능합니다.

SCI(Sputtering Components, Incoporated)는 디자인부터 생산, 서비스, R&D까지 전 방면에 걸쳐 신뢰할 수 있는 경험이 있습니다.

로터리 캐소드

에이펙스 이에스씨는 디자인부터 생산, 서비스, R&D까지  전 방면에 걸쳐 신뢰할 만한 로터리 캐소드에 대한 경험을 갖고 있습니다. 에이펙스 이에스씨가 제공하는 로터리 캐소드는 냉각 효율이 우수하며, 자석 주위의 큰 공간을 통해 자기장의 공간 분포를 조정하며 플라스마를 최적화 시킵니다.

내장 엔드블럭

에이펙스 이에스씨가 제공하는 내장 엔드블록은 신뢰성이 높고, 단순하며 유지관리가 편리한 디자인을 가지고 있습니다.

단일 엔드구성은 회전 캐소드에서 가장 일반적인 고장 유형 중 하나인 회전 및 정적 씰의 수를 감소시킵니다.

특별한 용수 주입 및 배출기능을 통해 제품의 냉각 및 블로 다운 시 목표 용수의 완전한 배출이 가능합니다.

주식회사 에이펙스 이에스씨 / APEX Engineering Service and Consulting Inc.

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